CZ法(チョクラルスキー法)は、シリコンインゴットの様に引上げを行う成長方法です。
従来のKy法(キロプロス法)など比べて、成長速度がKy法と比べて1/3程度で、用途に合わせた軸・成長方位も自在に合わす事が出来、コア抜き等が不要で材料のロスも少なく、コスト面でも魅力のある製品です。
@インゴット CZ法引上げによるサファイアインゴット 2・4・6・8・10in(c.r.a.m軸)
※KY等、ご要望が御座いましたらお申し付けください。
Aウェーハ エピレディーなど仕様に合わせたウェーハをご用意致します。(2・4・6・8in)
B各種加工 インゴットからウェーハまで、ご要望に合わせた各種加工を賜ります。
・結晶手配 ・アニール ・top/tail切断 ・方位測定 ・OF加工 ・端面/円筒研削
・ウェハリング(マルチワイヤーソー)
・ラップ/ポリッシュ(片面/両面) ・平坦度等の評価解析(パラメータに合わせた測定)
・加工前の結晶判定
C数 量 試作小ロットから量産まで、幅広く対応致します。
〒275-0017
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